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更新時(shí)間:2019/12/28 0:00:00
其實(shí),碳化硅是一種典型的共價(jià)鍵結(jié)合的穩(wěn)定化合物。從理論上來(lái)講,碳化硅均由sic四面體堆積而成,所不同的只是平行結(jié)合或反平行結(jié)合。sic有75種變形,如α-SiC、β-SiC、3C-SiC、4H-SiC、15R-SiC等,所有這些結(jié)構(gòu)可分為方晶系、六方晶系和菱形晶系,其中α-SiC、β-SiC較常見(jiàn)。α-SiC是高溫穩(wěn)定型,β-?SiC是低溫穩(wěn)定型。β-SiC在2100-2400攝氏度可轉(zhuǎn)變?yōu)棣?SiC,β-SiC可在1450攝氏度左右溫度下由簡(jiǎn)單的硅和碳混合物制得。
碳化硅本身很容易氧化,但它氧化之后形成一層二氧化硅薄膜,氧化進(jìn)程逐漸被阻礙。在空氣中,碳化硅于800攝氏度時(shí)就開(kāi)始氧化,但很緩慢,隨著溫度升高,則氧化速度急速加快。碳化硅的氧化速率,在氧氣中比在空氣中快1.6倍;氧化速率的速度隨著時(shí)間推移而減慢。如果以時(shí)間推移對(duì)氧化的數(shù)量描圖,可以得到典型的拋物線圖形。這反映出二氧化硅保護(hù)層對(duì)碳化硅氧化速率的阻礙作用。氧化時(shí),若同時(shí)存在著能將二氧化硅薄膜移去或使之破裂的物質(zhì),則碳化硅就易被進(jìn)一步氧化。
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